臭氧檢測儀主要由低壓紫外燈，光波過濾器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、樣品光電傳感器、采樣光電傳感器、輸出顯示、電路部件構成。
臭氧檢測儀的原理；
當空氣樣品以恒定的流速進入儀器的氣路系統，樣品空氣交替地或直接進入吸收池或經過臭氧滌除器再進入吸收池，臭氧對254nm波長的紫外光有特征吸收。零空氣樣品通過吸收池時被光度檢測器測定的光強度為I0；含臭氧的空氣樣品通過吸收池時，被光度檢測器測定的光強度為I。每經過一個循環周期，儀器的數據處理系統根據朗伯-比爾定律求出臭氧的濃度，關系式如下：
I/I0=ea×c×L
式中a-------吸光系數
c-------臭氧濃度
L------吸收池厚度
臭氧檢測儀的技術參數；
檢測范圍：0～100ppm；
量程范圍:0-1，0-10，0-100ppm，0.1～999ppm自動切換；
分辨率：0.01ppm；
度：2％；
取樣時間：10秒；
信號輸出：232接口，內置控制功能；無需軟件；4～mA，0～2.5V。
有無松動，破損
3、檢測內部有無漏氣，能夠嗅到臭氧氣味
